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日立开辟机械进修半导体缺陷检测手艺可检出
发布时间:2025-03-06 10:27 点击:


龙8

  IT之家 3 月 5 日动静,日立本地时间 2 月 27 日称该企业已开辟出了一种高活络度半导体缺陷检测手艺。

  图像沉建对比:检测系统起首通过大量添加噪点的“人制”缺陷图像进修微缺陷的数据特征;现实利用时对扫描电镜照片尽量进行无缺陷版本沉建,并对原始图像和沉建图像进行对比,从而检出缺陷。

  过度检测:因为先辈半导体系体例程的微缩,而机械进修检测系统可对电结构进行分类,可削减 90% 的过度检测。







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张会校
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